IQ、OQ、PQ术语:
       在洁净厂房设计规范中GB50073-2001中给洁净室的三种状态做了以下定义:
       空态 as-built洁净室测试
       设施已经建成，所有动力接通并运行，但无生产设备、材料及人员。
       静态 at-rest
       设施已经建成，生产设备已经安装，并按业主及工艺商同意的状态下运行，但无生产人员。
       动态 operational
       设施已规定的状态运行，有规定的人员在场，并在商定的状态下进行工作。
       在ISO14644中规定将洁净室检测阶段划分如下:
       空态洁净室的检测--Installation qualificafion(IQ)
       静态洁净室的检测--Operational qualificafion(OQ)
       动态洁净室的检测--Performance qualificafion(PQ)

       空态洁净室的检测(IQ)
       检查空态洁净室和安装的设备是否符合设计，至少要检查下列各点:
       1、洁净室设备的成套性;
       2、一切能源载体和工艺介质的供应(水、电、蒸汽、压缩空气、气体等)是否符合设计;
       3、公用和辅助设备功能运转是否正确;
       4、所以控制系统，监控器，报警和警报器等的检定(检查)日期;
       5、安装质量;
       6、安装过滤器(最终过滤器)的完整性;
       7、电源和设备是否有备份，其中包括空气处理设备的风量余量;
       8、压差;
       9、气流特性(单向气流--流速，均匀性和气流方向);
       10、维护结构的密闭性;
       11、检查循环空气与室外空气的比例是否符合设计;
       12、表面洁净度;
       13、包装中是否有备件。
       检查HEPA(ULPA)过滤器的完整性具有重要意义，此项检查对ISO6级、ISO5级及更高级别的洁净室来说尤其必要。应检查表面洁净度及维护结构的密闭性(对ISO1级~ISO5级的洁净室特别重要)。

       静态洁净室的检测(OQ)
       本阶段的检测至少应完成下列各项工作:
       1、确认洁净区划分原则是否符合要求;
       2、确定洁净室在经过污染水平升高后的自净时间参数;
       3、确定保持温度和相对湿度的稳定性;
       4、按粒子数确定洁净度级别;
       5、确定压差;
       6、在必要的场所应按粒子和微生物污染水平确定表面的洁净度;
       7、确定照度;
       8、确定噪声级;
       9、利用必要的工具目视检查气流并检查换气次数(必要时);
       10、将取得数据结果写成书面文件。

       动态洁净室的检测(PQ)
       为了评估动态洁净室工作的稳定性:
       1、验证洁净室分割制度;
       2、评估将温度和相对湿度保持在规定范围内的能力;
       3、按粒子数检查洁净度级别并确定空气中的微生物浓度(必要时);
       4、验证压差;
       5、按粒子数和微生物数量确定表面洁净度(必要时);
       6、检查洁净室运行文件的成套性，其中包括参数的检查方法，洁净室工作事故及采取的措施等，是否有基本的规程，如洁净室清扫、更衣、人员卫生等方面的规程等;
       7、检查人员是否经过培训，是否有培训体系和相应的文件;
       必要时还要检查振动强弱，空气电离程度，电磁场强度。可根据洁净室的特点改变测试的具体内容。
       在使用过程中，应对洁净室的参数进行日常监控，监控要有一定的周期性，洁净室用户可根据规范文件的要求确定这种周期性

       检测可在洁净室工作过程中进行(重复检测);
       发生下列各项后需进行重复检测:
       1、洁净室达不到给定参数的原因已消除;
       2、与使用条件例如洁净室的使用有较大差异(如改变工艺流程等);
       3、空气长时间停止流通(进风)而影响洁净室工作;
       4、做了影响洁净室工作的个别维护或修理工作，如更换HEPA过滤器以后。